國內(nèi)半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司（以下簡稱“北方華創(chuàng)”）高層團(tuán)隊(duì)到訪北京和利時(shí)自動(dòng)化驅(qū)動(dòng)技術(shù)有限公司（以下簡稱“和利時(shí)”），雙方就半導(dǎo)體裝備的智能化、數(shù)字化發(fā)展路徑進(jìn)行了深入交流與探討。此次會(huì)晤，標(biāo)志著兩家在各自領(lǐng)域擁有深厚技術(shù)積累的企業(yè)，正攜手探索高端制造與工業(yè)軟件深度融合的新篇章。

在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭日益激烈、技術(shù)迭代加速的背景下，裝備的智能化與軟件的自主可控已成為提升產(chǎn)業(yè)鏈競(jìng)爭力的關(guān)鍵。北方華創(chuàng)作為中國主要的半導(dǎo)體工藝裝備企業(yè)，其產(chǎn)品線覆蓋刻蝕、薄膜沉積、清洗等多個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)，對(duì)裝備的精密控制、穩(wěn)定運(yùn)行以及工藝數(shù)據(jù)的深度挖掘有著極高的要求。而和利時(shí)作為中國領(lǐng)先的自動(dòng)化與數(shù)字化解決方案提供商，在工業(yè)控制系統(tǒng)、工業(yè)軟件、智能制造平臺(tái)等方面擁有核心技術(shù)。雙方的合作，旨在將和利時(shí)在工業(yè)自動(dòng)化、信息化領(lǐng)域的軟件優(yōu)勢(shì)，與北方華創(chuàng)在半導(dǎo)體專用設(shè)備領(lǐng)域的硬件及工藝知識(shí)深度融合。

會(huì)談中，雙方重點(diǎn)探討了如何通過先進(jìn)的工業(yè)軟件賦能半導(dǎo)體裝備。這包括但不限于：利用大數(shù)據(jù)和人工智能技術(shù)對(duì)裝備運(yùn)行狀態(tài)進(jìn)行預(yù)測(cè)性維護(hù)，減少非計(jì)劃停機(jī)時(shí)間；開發(fā)更智能、更柔性的工藝控制軟件，以適應(yīng)先進(jìn)制程對(duì)工藝窗口日益嚴(yán)苛的要求；構(gòu)建從設(shè)備到工廠級(jí)的數(shù)字化孿生系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)工藝仿真、優(yōu)化和虛擬調(diào)試，加速新產(chǎn)品導(dǎo)入和產(chǎn)能爬升；以及加強(qiáng)裝備數(shù)據(jù)的采集、分析與應(yīng)用，挖掘數(shù)據(jù)價(jià)值，持續(xù)提升工藝良率和設(shè)備綜合效率（OEE）。

北方華創(chuàng)高層表示，半導(dǎo)體裝備的復(fù)雜性決定了其不僅是精密機(jī)械的集合，更是軟件定義的系統(tǒng)。裝備的智能化水平，直接關(guān)系到下游芯片制造的效率、成本與質(zhì)量。與和利時(shí)這樣在工業(yè)軟件和控制系統(tǒng)領(lǐng)域有深厚積淀的伙伴合作，是北方華創(chuàng)推進(jìn)產(chǎn)品智能化升級(jí)、增強(qiáng)市場(chǎng)競(jìng)爭力戰(zhàn)略的重要一環(huán)。

和利時(shí)方面則強(qiáng)調(diào)，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是國家戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，為其提供高可靠、高性能的工業(yè)軟件與自動(dòng)化解決方案，是和利時(shí)的責(zé)任與機(jī)遇。公司將依托自身在工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、邊緣計(jì)算、數(shù)字孿生等領(lǐng)域的技術(shù)，為北方華創(chuàng)量身打造更開放、更智能、更安全的軟件平臺(tái)，共同攻克半導(dǎo)體裝備智能化中的軟件難題，助力國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備邁向更高水平。

此次高層互動(dòng)，不僅是一次技術(shù)交流，更是一次重要的戰(zhàn)略對(duì)接。雙方約定將建立更緊密的溝通與合作機(jī)制，組建聯(lián)合技術(shù)團(tuán)隊(duì)，圍繞具體項(xiàng)目開展聯(lián)合研發(fā)與試點(diǎn)應(yīng)用。通過“硬件+軟件”的協(xié)同創(chuàng)新，共同探索一條符合中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展實(shí)際的裝備智能化新路徑，為保障中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的自主安全與持續(xù)發(fā)展貢獻(xiàn)合力。

業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為，此類跨界合作預(yù)示著中國半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)正從單點(diǎn)突破向系統(tǒng)化、生態(tài)化發(fā)展邁進(jìn)。核心裝備企業(yè)與核心軟件企業(yè)的強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，有望加速打破國外在高端裝備控制系統(tǒng)及工業(yè)軟件方面的壟斷，構(gòu)建起更加完整、健壯的國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)體系。